“超精密机床的研发和制造技术是一项前沿性的技术，将引领机床的加工精度不断向着人类未曾涉及的技术领域深入迈进。”北京机床研究所所长刘炳业在近日召开的2014中国机床工具发展高端论坛上指出，“超精密机床是发达国家非常重视并且采取措施加以控制的机床，且它体现着一个国家精度技术的竞争力。”

刘炳业强调，在过去的30年里，世界范围的机床技术得到了很大程度的发展，机床技术的发展趋势也呈现出多元化的特点，但高精度是数控机床的主流发展趋势，并且超精密加工的精度比精密加工精度还要高出一个数量级。

事实上，超精密加工技术所涉及的技术领域非常丰富。在北京机床研究所30多年的研究历程中，针对超精密加工技术所涉及到的相关技术，刘炳业系统地总结出了36个方面的关键前沿研究以及11项领先的核心技术。其中，关键前沿研究包括设计、运动部件、测量分析、工艺技术、主机制造技术和机床应用条件技术六方面内容。领先的核心技术涵盖：精密超精密主轴关键结构制造技术、精密超精密直线运动部件关键结构制造技术、高分辨率运动驱动技术、机床关键零部件的加工工艺制造技术、部件抵御外部干扰的特性技术、高稳定性快速直线运动的结构与制造技术、多运动轴机床的嵌套结构设计技术，以及针对目标零件制造的机床集成制造技术等内容。

“在机床的精度从微米级到纳米级的发展历程中，有三项关键技术无法回避，这三项技术也是纳米精度机床的研究门槛。”刘炳业分析称，其中一项技术是无迟滞的轴承技术，迟滞现象在机械系统中大量存在，迟滞现象不仅严重影响机床溜板的运动定位精度和重复定位的精度，也影响运动的高分辨率实现，同时也影响精密零件的加工形状精度以及表面粗糙度。而静压轴承技术可以很好地解决机械迟滞的现象，并且可以均化几何误差，在超精密机床中得到大量应用。静压技术在过去的十年时间里取得了重大进展，自补偿的反馈技术更为成熟。以流量控制的节流技术使静压轴承的刚度得到很大程度的提升，使超精密机床加工的材料硬度不断提高。